Gigaphoton将在SPIE Advanced Lithography + Patterning 2023大会发布技术解决方案

2023年02月20日 09:17:13  [来源:]  [作者:]  [责编:admin]
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公司将在半导体光刻技术盛会上发表论文

日本小山市--(美国商业资讯)--半导体光刻光源制造商Gigaphoton株式会社(总部:栃木县小山市,董事总经理兼首席执行官:Katsumi Uranaka)将参加于太平洋标准时间2023年2月26日(星期日)至3月2日(星期四)在加州圣何塞举行的SPIE Advanced Lithography + Patterning 2023大会。 

Gigaphoton将介绍助力提高产能的前沿技术,以及基于DUV光源技术可持续性解决方案。此外,Gigaphoton还将介绍EUV光源的研发进展。 

* 如果您希望在您的材料中引用这些论文,请联系我们。 

口头演讲:
1) 通过领先的浸入式光源同时改善边缘放置误差(EPE)和可用性 [论文编号:12494-44]
2) 面向半导体制造的等离子体动力学和LPP-EUV光源的前景 [论文编号: 12494-45]
 
其它网友:ぺ笑待傷悲
评论:梦想是用来破灭的,不是用来实现的,因为在现实面前,它就是一个屁。

天涯网友:红玫瑰‖▍DAEGER
评论:女人=吃饭+睡觉+花钱 女人=猪+花钱 女人-花钱=猪 结论:女人不花钱等于猪!

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